发明名称 |
MICROWAVE PLASMA TREATMENT DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0883691(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
申请号 |
JP19940215576 |
申请日期 |
1994.09.09 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FURUSE MUNEO;WATANABE SEIICHI;SHIRAYONE SHIGERU |
分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|