| 发明名称 |
ELECTRON BEAM LENGTH MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0882514(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19940244663 |
申请日期 |
1994.09.13 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
HATA KAZUNARI;SHIBUTAMI MASATOSHI;KITAMURA TOSHIAKI;SHIMIZU HIROYASU |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/22;(IPC1-7):G01B15/00 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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