发明名称 Photoimageable polyimide coating
摘要 A photoimageable polyimide coating which can be prepared from the polymeric condensation product of 6FDA, DMDE or MEDA, and a photosensitizing moiety. More particularly, the present invention relates to a photoimageable polyimide coating useful for microelectronic applications.
申请公布号 US5501941(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 US19940269698 申请日期 1994.07.01
申请人 AMOCO CORPORATION 发明人 NGO, DAVID D.
分类号 C08L79/08;C03C25/10;C08L79/00;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/492 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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