发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING BUMP, AND BUMP
摘要
申请公布号 JPH0883801(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940219294 申请日期 1994.09.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANAKA SHOICHI;MINAMIZAWA MASAE;UENO SEIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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