发明名称 MANUFACTURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0883831(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940244826 申请日期 1994.09.13
申请人 NEC CORP 发明人 SENBONMATSU SHIGERU
分类号 C23C14/56;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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