METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19940230432-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0878553(A)	申请公布日期	1996.03.22
申请号	JP19940230432	申请日期	1994.08.31
申请人	NEC CORP	发明人	MATSUO NOBUYUKI
分类号	H01L23/28;H01L23/00;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):H01L23/00	主分类号	H01L23/28
代理机构		代理人
主权项
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