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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0878353(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940214626 申请日期 1994.09.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIDA AKIHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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