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发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0875673(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940216410 申请日期 1994.09.09
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 YASUE AKIRA
分类号 G01N21/90;B05C11/00;B07C5/342;(IPC1-7):G01N21/90 主分类号 G01N21/90
代理机构 代理人
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