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发明名称 DRY ETCHING METHOD OF NIOBIUM THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0878745(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940206952 申请日期 1994.08.31
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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