| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING ROUGHNESS OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0878492(A) |
申请公布日期 |
1996.03.22 |
| 申请号 |
JP19940230248 |
申请日期 |
1994.08.31 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
SAKOU YAMATO;OKAZAKI HIROKO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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