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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0878344(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940232417 申请日期 1994.09.01
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUKUMURA NORIYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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