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发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0878345(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940235916 申请日期 1994.09.05
申请人 SONY CORP 发明人 AZUMA HIDEAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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