发明名称 REACTION TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0878336(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940215433 申请日期 1994.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAKI SHIGEO;SATO AKIHIKO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址