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发明名称 MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0878331(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940232109 申请日期 1994.08.31
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAI MASAHARU
分类号 C30B23/08;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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