| 发明名称 |
PRODUCTION OF QUARTZ GLASS FOR VACUUM ULTRAVIOLET AND QUARTZ GLASS OPTICAL MEMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0875901(A) |
申请公布日期 |
1996.03.22 |
| 申请号 |
JP19950170984 |
申请日期 |
1995.07.06 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
HIRAIWA HIROYUKI;FUJIWARA MASASHI;KOMINE NORIO |
| 分类号 |
G03F7/20;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;C03C3/06;C03C4/00;G02B1/00;H01S3/17;(IPC1-7):G02B1/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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