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发明名称 SOI TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0878692(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940232284 申请日期 1994.09.01
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHINO AKIRA
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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