| 发明名称 |
APPARATUS FOR MAKING HOLE IN IC DEVICE AND FOR FORMING FILM ON THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0883791(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19950184175 |
申请日期 |
1995.07.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI HIROSHI;HONGO MIKIO;MIYAUCHI TAKEOKI;SHIMASE AKIRA;HARAICHI SATOSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO;SAITOU KEIYA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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