发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0878688(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940213963 申请日期 1994.09.07
申请人 SHARP CORP 发明人 MOROSAWA NARIHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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