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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0878644(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940209598 申请日期 1994.09.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE TETSUO
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/322;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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