| 发明名称 |
BUMP FORMING EQUIPMENT AND BUMP FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0878418(A) |
申请公布日期 |
1996.03.22 |
| 申请号 |
JP19940207710 |
申请日期 |
1994.08.31 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SUEMATSU MUTSUMI;USHIJIMA AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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