| 发明名称 |
PROJECTION TYPE ALIGNMENT METHOD AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0878320(A) |
申请公布日期 |
1996.03.22 |
| 申请号 |
JP19950011187 |
申请日期 |
1995.01.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBA MASATAKA;OSHIDA YOSHITADA;KOIZUMI MITSUYOSHI;NAKADA TOSHIHIKO;UTO YUKIO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03B27/53;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
