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发明名称 CLEANING CASSETTE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0878371(A) 申请公布日期 1996.03.22
申请号 JP19940230634 申请日期 1994.08.31
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NIPPON VALQUA IND LTD;DAINICHI SHOJI KK 发明人 SOEDA YASUTSUGU;MUNAKATA HIDEKI;YAMADA TOSHIMASA;YABE YASUO;IKEDA MAKOTO
分类号 B08B11/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B11/02
代理机构 代理人
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