| 发明名称 |
PLASMA APPARATUS FOR FORMATION OF FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0878333(A) |
申请公布日期 |
1996.03.22 |
| 申请号 |
JP19940213571 |
申请日期 |
1994.09.07 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ONO TOSHIRO;WATANABE IWAO;SHIMADA MASARU;MATSUO SEITARO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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