发明名称 电浆处理装置(二)
摘要 电浆处理装置包含由接地之导电材料组成的气密室,设在气密室以支撑要处理之晶圆的基座,设在气密室以预定间隙正对装在基座上之晶圆的平坦线圈所构成的RF天线。处理气体送入室中,RF功率施于RF天线而在天线与晶圆之间产生电浆,以电浆来处理晶圆。
申请公布号 TW273067 申请公布日期 1996.03.21
申请号 TW083109098 申请日期 1994.10.01
申请人 东京电子股份有限公司 发明人 石井信雄
分类号 H01L21/02;H05H1/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼;林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 一沈积于该等透明电极上之第一介电层; 一沈积于该第一介电层上之磷光物质层,其具有各 种植入 于其中以提共色彩亮度物质之活性剂及共活性剂; 一沈积于该磷光物质层上的第二介电层; 沈积于该第二介电层上之吸光暗色物质层,用以减 低反射 光;以及 多个金属电极,每一金属电极皆平行沈积于该吸光 暗色物 质层上。2. 根据申请专利范围第1项之日光下可视 之多色彩电激发 光显示面板,其中每一金属辅助结构皆含有一第一 耐火金 属层,一形成于第一耐火层上之主导体层,以及一 形成于 该主导体层上之第二耐火金属层,使得第一及第二 耐火金 属层能于电激发光显示器退火以致动该磷光层时 保护主导 体层免于氧化。3. 根据申请专利范围第2项之日光 下可视之电激发光显示 面板,其中该金属辅助结构覆盖该透明电极约10%或 更少 之面积。4. 根据申请专利范围第2项之日光下可视 之电激发光显示 面板,其中该吸光暗色物质层为PbMnO@ss3。5. 根据申 请专利范围第1项之日光下可视之电激发光显示 面板,其中该吸光暗色物质层具有至少10@su8欧姆/ 公分 之电阻。6. 根据申请专利范围第1项之日光下可视 之电激发光显示 面板,其中该吸光暗色物质层为GeN。7. 根据申请专 利范围第2项之日光下可视之电激发光显示 面板,其中该金属辅助结构之边缘皆予以去角。8. 根据申请专利范围第2项之日光下可视之电激发光 显示 面板,其中该金属辅助结构进一步包含一形成于第 一耐火 金属层及透明电极间之黏着层,该黏着层可黏着该 透明电 极及第一耐火金属层。9. 一种多色彩电激发光显 示面板,包括: 一玻璃基材; 多个沈积于玻璃基材上的平行透明电极,每一透明 电极皆 具有一形成于该等透明电极之一部份上且与该部 份电接触 之金属辅助结构; 一沈积于该等透明电极上之第一介电层; 一沈积于该第一介电层上之磷光物质层,其具有各 种植入 于其中以提供色彩亮度物质之活性剂及共活性剂; 一沈积于该磷光物质层上的吸光暗色物质层,用以 减低反 射光; 一沈积于该吸光暗色物质层上的第二介电层;以及 多个金属电极,每一金属电极皆平行沈积于该吸光 暗色物 质层上。10. 根据申请专利范围第9项之日光下可 视之电激发光显 示面板,其中该吸光暗色物质层为一吸光暗色物质 之阶级 层。11. 根据申请专利范围第10项之日光下可视之 电激发光显 示面板,其中该吸光暗色物质之阶级层包含一之氮 矽化合 物SiN@ssx。12. 根据申请专利范围第9项之日光下可 视之电激发光显 示面板,其中该吸光暗色物质层为PbMnO@ss3。13. 根 据申请专利范围第12项之日光下可视之电激发光 显 示面板,其中该吸光暗色物质层之介电常数至少为 7。14. 根据申请专利范围第12项之日光下可视之电 激发光显 示面板,其中该吸光暗色物质层之吸光系数约为10@ su5/ cm。15. 根据申请专利范围第9项之日光下可视之电 激发光显 示面板,其中该吸光暗色物质层为GeN。16. 根据申 请专利范围第13项之日光下可视之电激发光显 示面板,其中该金属辅助结构覆盖该透明电极约10% 或更 少之面积。17. 根据申请专利范围第16项之日光下 可视之电激发光显 示面板,其中该金属辅助结构之边缘皆予以去角。 18. 一种多色彩电激发光显示面板,包括: 一玻璃基材; 多个沈积于玻璃基材上的平行透明电极,每一透明 电极皆 具有一形成于该等透明电极之一部份上且与该部 份电接触 之金属辅助结构; 一沈积于该等透明电极上之第一介电层; 一沈积于该第一介电层上之磷光物质层,其具有各 种植入 于其中以提供色彩亮度物质之活性剂及共活性剂; 一沈积于该磷光物质层上的第二介电层;以及 多个金属电极,每一金属电极皆平行沈积于该吸光 暗色物 质层上,且每一金属电极皆含有一介于第二介电层 及该等 金属电极之导电部份之间的吸光暗色物质层。图 示简单说明: 图1所示为先前技艺之单色TFEL显示面板; 图2所示为根据本发明之多色彩薄膜电激发光显示 器; 图3所示为介电特性对镨之目标成份图; 图4所示为低欧姆金属辅助结构之较佳实施例; 图5所示为本发明具有多个暗色背金属电极之实施 例; 图6所示为本发明具有一吸光暗色物质之渐层的实 施例; 以及 图7所示为本发明之另一实施例,其中吸光暗层系 介于磷
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