发明名称 Verfahren zum Metallisieren einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE68925632(D1) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 DE19896025632 申请日期 1989.05.02
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 POLITO, ANTHONY, MESA ARIZONA 85204, US;PAGES, IRENEE M., MESA ARIZONA 85203, US
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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