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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0828489(B2)	申请公布日期	1996.03.21
申请号	JP19890067660	申请日期	1989.03.22
申请人		发明人
分类号	H01L31/10;H01L27/14;H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/14	主分类号	H01L31/10
代理机构		代理人
主权项
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