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发明名称 VERFAHREN UND APPARAT ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHENFEHLERN
摘要
申请公布号 DE3751702(D1) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 DE19873751702 申请日期 1987.10.16
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HAYASHI, MAKOTO, HITACHI-SHI IBARAKI 316, JP;OOTAKA, MASAHIRO, HITACHI-SHI IBARAKI 317, JP;NARUSE, AKISUKE, HITACHI-SHI IBARAKI 317, JP;TAKAKU, KAZUO, HITACHI-SHI IBARAKI 317, JP
分类号 G01N27/20;(IPC1-7):G01N27/20 主分类号 G01N27/20
代理机构 代理人
主权项
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