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发明名称
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申请公布号 JPH0828409(B2) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 JP19910341815 申请日期 1991.12.02
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 YOKOTA KEIICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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