发明名称 Integrierte Schaltung mit einer planarisierten dielektrischen Schicht
摘要
申请公布号 DE69025300(D1) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 DE1990625300 申请日期 1990.11.28
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 HILLS, GRAHAM WILLIAM, SANTA CLARA, CALIFORNIA 95030, US;HUTTEMANN, ROBERT DONALD, MACUNGIE, PENNSYLVANIA 18062, US;OLASUPO, KOLAWOLE R., KUTZTOWN, PENNSYLVANIA 19530, US
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/60 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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