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发明名称 Belichtungsvorrichtung und Steuerung derselben
摘要
申请公布号 DE68925605(D1) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 DE19896025605 申请日期 1989.09.06
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWAKAMI, EIGO, EBINA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OZAWA, KUNITAKA, ISEHARA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UDA, KOJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SHIMODA, ISAMU, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UZAWA, SHUNICHI, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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