Tungsten chemical vapor deposition method,申请号EP19910122326-传众专利搜索

发明名称	Tungsten chemical vapor deposition method
摘要
申请公布号	EP0548407(B1)	申请公布日期	1996.03.20
申请号	EP19910122326	申请日期	1991.12.27
申请人	SMALL POWER COMMUNICATION SYSTEMS RESEARCH LABORATORIES CO., LTD.	发明人	HIRANO, KIICHI;TAKEDA, NOBUO
分类号	C23C16/14;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/14;C23C16/08	主分类号	C23C16/14
代理机构		代理人
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