发明名称 COMPOSITION TO CLEAN SURFACE OF INDIUM ANTIMONIDE
摘要
申请公布号 RU1530013(C) 申请公布日期 1996.03.20
申请号 SU19874192484 申请日期 1987.02.09
申请人 YAROSLAVSKOE NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "ELEKTRONPRIBOR" 发明人 KOSMODEMYANSKAYA N.P.;SLESAREVA A.M.;VESELOVA V.G.;PROKOFEV S.B.;GUSEV V.N.
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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