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经营范围
发明名称
S.O.R.-Belichtungssystem
摘要
申请公布号
DE68925604(D1)
申请公布日期
1996.03.21
申请号
DE19896025604
申请日期
1989.09.04
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
UDA, KOJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TANAKA, YUTAKA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MORI, TETSUZO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SHIMODA, ISAMU, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UZAWA, SCHUNICHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号
H05H13/04;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
H05H13/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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