发明名称 SIMULTANEOUS DETERMINATION OF LAYER THICKNESS AND SUBSTRATE TEMPERATURE DURING COATING
摘要
申请公布号 EP0701686(A1) 申请公布日期 1996.03.20
申请号 EP19940906879 申请日期 1994.02.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 BOEBEL, FRIEDRICH;BAUER, NORBERT
分类号 G01B11/06;G01J5/00;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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