| 发明名称 |
Vapour generator for chemical vapour deposition systems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0600503(B1) |
申请公布日期 |
1996.03.20 |
| 申请号 |
EP19930119521 |
申请日期 |
1993.12.03 |
| 申请人 |
CSELT CENTRO STUDI E LABORATORI TELECOMUNICAZIONI S.P.A. |
发明人 |
BERTONE, DANIELE |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/18 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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