发明名称 METHOD OF SILICON GAS-SENSITIVE MEMBER MAKING
摘要
申请公布号 RU1519357(C) 申请公布日期 1996.03.20
申请号 SU19884336715 申请日期 1988.10.26
申请人 UDOVITSKIJ V.G. 发明人 UDOVITSKIJ V.G.
分类号 G01N27/02;(IPC1-7):G01N27/02 主分类号 G01N27/02
代理机构 代理人
主权项
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