| 发明名称 |
MANUFACTURE OF VACUUM CHAMBER MADE OF AL OR AL ALLOY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0874091(A) |
申请公布日期 |
1996.03.19 |
| 申请号 |
JP19940210006 |
申请日期 |
1994.09.02 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
HISAMOTO ATSUSHI;WADA KOJI;IKEDA TSUGUMOTO |
| 分类号 |
C25D11/18;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C25D11/18;H01L21/306 |
主分类号 |
C25D11/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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