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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0874053(A) 申请公布日期 1996.03.19
申请号 JP19940211223 申请日期 1994.09.05
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 TAKIZAWA HIROTSUGU
分类号 C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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