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发明名称 REACTEUR A PLASMA
摘要
申请公布号 FR2639171(B1) 申请公布日期 1996.03.15
申请号 FR19890009380 申请日期 1989.07.12
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 ISAMU HIJIKATA;AKIRA UEHARA
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306;H01L21/465 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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