PROCESS FOR SCANNING A SAMPLE SURFACE, IN PARTICULAR BY MEANS OF SCANNING FORCE MICROSCOPES

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Scannen einer Probenoberfläche, insbesondere mittels einer Rastersonde eines Rastersondenmikroskops, bei dem sich Rasternadel und Probe relativ zu einander bewegen. Die Rasternadel wird in einem vorgegebenen Raster über die zu scannende Probenoberfläche geführt. Erfindungsgemäss werden kurvenförmig verlaufende Bewegungen anstelle der bekannten Bewegungsumkehr durchgeführt. Dies hat zur Folge, dass Beschleunigungseffekte und damit Messstörungen vermindert werden. Je grösser der Kurvenradius gewählt wird, desto stärker werden Messstörungen herabgesetzt. Der Kurvendurchmesser beträgt daher vorteilhaft ein mehrfaches des Abstandes zweier benachbarter Rasterpunkte.