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发明名称 Manufacture of semiconductor devices
摘要
申请公布号 EP0404464(B1) 申请公布日期 1996.03.13
申请号 EP19900306591 申请日期 1990.06.18
申请人 SONY CORPORATION 发明人 HOZUMI, HIROKI
分类号 H01L21/285;H01L29/73;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/82 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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