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发明名称 MICROVALVE
摘要
申请公布号 EP0700485(A1) 申请公布日期 1996.03.13
申请号 EP19940916136 申请日期 1994.05.21
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LISEC, THOMAS;QUENZER, HANS-JOACHIM;WAGNER, BERND
分类号 F16K1/00;F15B21/08;F15C3/04;F15C5/00;F16K31/64;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):F15C5/00 主分类号 F16K1/00
代理机构 代理人
主权项
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