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经营范围
发明名称
Apparatus for calibrating a mass flow controller
摘要
申请公布号
EP0584242(B1)
申请公布日期
1996.03.13
申请号
EP19920912577
申请日期
1992.05.15
申请人
UNIT INSTRUMENTS, INC.
发明人
DOYLE, JAMES, HOLOHAN;UPCHURCH, MICHAEL, DEAN;DONALDSON, RICHARD, LEE
分类号
G01F1/68;G01F1/696;G01F25/00;G05D7/06;(IPC1-7):G01F1/68
主分类号
G01F1/68
代理机构
代理人
主权项
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