发明名称 Apparatus for calibrating a mass flow controller
摘要
申请公布号 EP0584242(B1) 申请公布日期 1996.03.13
申请号 EP19920912577 申请日期 1992.05.15
申请人 UNIT INSTRUMENTS, INC. 发明人 DOYLE, JAMES, HOLOHAN;UPCHURCH, MICHAEL, DEAN;DONALDSON, RICHARD, LEE
分类号 G01F1/68;G01F1/696;G01F25/00;G05D7/06;(IPC1-7):G01F1/68 主分类号 G01F1/68
代理机构 代理人
主权项
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