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发明名称 PATTERN FORMING MATERIAL.
摘要
申请公布号 EP0633502(A4) 申请公布日期 1996.03.13
申请号 EP19940903042 申请日期 1993.12.22
申请人 HOECHST JAPAN LIMITED 发明人 KUDO, TAKANORI;MASUDA, SEIYA;KINOSHITA, YOSHIAKI;PRZYBILLA, KLAUS, JUERGEN;ENDO, HAJIME;SUEHIRO, NATSMUI;OKAZAKI, HIROSHI
分类号 G03C1/685;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/028 主分类号 G03C1/685
代理机构 代理人
主权项
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