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发明名称 PATTERN INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0868617(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940204795 申请日期 1994.08.30
申请人 NEC CORP 发明人 HATAKEYAMA YUKIKO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G02F1/13;G02F1/1335;G02F1/13357;(IPC1-7):G01B11/30;G02F1/133 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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