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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0870044(A)
申请公布日期
1996.03.12
申请号
JP19940280364
申请日期
1994.11.15
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI
分类号
H01L21/768;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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