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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0870001(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940203157 申请日期 1994.08.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA TAKAHARU
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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