发明名称 FORMATION OF ANTI-REFLECTION FILM
摘要
申请公布号 JPH0869955(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940204982 申请日期 1994.08.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AOYAMA RYOICHI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址