| 发明名称 |
THIN-FILM SENSOR ELEMENT AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0870143(A) |
申请公布日期 |
1996.03.12 |
| 申请号 |
JP19950006067 |
申请日期 |
1995.01.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TORII HIDEO;KAMATA TAKESHI;HAYASHI SHIGENORI;HIRAO TAKASHI;TAKAYAMA RYOICHI;HATTORI MASUZO |
| 分类号 |
G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00;G01J1/02;G01J5/02;G01J5/34;H01L37/02;(IPC1-7):H01L37/02 |
主分类号 |
G01P15/125 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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