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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0869978(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940203683 申请日期 1994.08.29
申请人 SONY CORP 发明人 KIYOTA HISAHARU
分类号 H01L21/768;H01L21/265;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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